阿斯麥ASML方面表示，EUV(極紫外光)光刻業(yè)務(wù):第一臺NXE:3600D已出貨給客戶。相較于前一代產(chǎn)品，NXE:3600D的生產(chǎn)力提高15%到20%，且套刻精度也提高30%。ASML正增加EUV在存儲產(chǎn)業(yè)的量產(chǎn)應(yīng)用，并將計劃協(xié)助三個DRAM客戶實現(xiàn)在未來的制程節(jié)點中導(dǎo)入EUV。