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中國長城半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割技術(shù)取得重大突破

  中國長城消息,其旗下鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院聯(lián)合河南通用智能裝備有限公司,僅用一年時(shí)間,便完成了半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割設(shè)備的技術(shù)迭代,分辨率由100nm提升至50nm,達(dá)到行業(yè)內(nèi)最高精度,實(shí)現(xiàn)了晶圓背切加工的功能。與此同時(shí),持續(xù)優(yōu)化工藝,在原有切割硅材料的技術(shù)基礎(chǔ)上,實(shí)現(xiàn)了加工CIS、RFID、碳化硅、氮化鎵等材料的技術(shù)突破,對(duì)進(jìn)一步提高我國智能裝備制造能力具有里程碑式的意義。

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