上海新陽：ArF類光刻膠樣品目前在國內(nèi)晶圓制造企業(yè)驗(yàn)證中 2023-01-28 17:29 array(1) { [479273]=> array(2) { [2]=> array(4) { [0]=> string(9) "供應(yīng)商" [1]=> string(9) "硅晶圓" [2]=> string(12) "上海新陽" [3]=> string(9) "光刻膠" } [4]=> array(1) { [0]=> string(19) "同花順7x24快訊" } } } 同花順7x24快訊 0 上海新陽在互動(dòng)平臺表示，公司KrF光刻膠已批量化生產(chǎn)銷售，ArF類光刻膠樣品目前在國內(nèi)晶圓制造企業(yè)驗(yàn)證中，EUV光刻膠尚在開發(fā)階段。
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