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上海新陽:擬5.8億元投建開發(fā)集成電路關鍵工藝材料項目

  上海新陽公告,上海新陽公告,公司擬與上?;瘜W工業(yè)區(qū)管委會、上海化學工業(yè)區(qū)發(fā)展有限公司簽訂《投資意向協(xié)議》,變更全資子公司上海芯刻微材料技術有限責任公司注冊于上?;瘜W工業(yè)區(qū),并啟動位于上海化學工業(yè)區(qū)的項目建設,該項目主要開發(fā)集成電路關鍵工藝材料,總投資額約5.8億元。項目預計年產500噸I線、KrF、ArF干/濕法光刻膠等產品。

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